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【2h】

Miniaturized Thermal Acoustic Gas Sensor Based on a CMOS Microhotplate and MEMS Microphone

机译：基于CMOS微栅极和MEMS麦克风的小型化热声气体传感器

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Richard Hopper; Daniel Popa; Vasileios Tsoutsouras; Florin Udrea; Phillip Stanley-Marbell;
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年度 2020
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1. Miniaturized Thermal Acoustic Gas Sensor Based on a CMOS Microhotplate and MEMS Microphone [J] . Richard Hopper, Daniel Popa, Vasileios Tsoutsouras, Proceedings . 2020,第1期

机译：基于CMOS微栅极和MEMS麦克风的小型化热声气体传感器
2. 3D nonlinear modeling of microhotplates in CMOS technology for use as metal-oxide-based gas sensors [J] . Graf M, Jurischka R, Barrettino D, Journal of Micromechanics and Microengineering . 2005,第1期

机译：CMOS技术中用作金属氧化物气体传感器的微孔板的3D非线性建模
3. A monolithic CMOS microhotplate-based gas sensor system [J] . Afridi M.Y., Suehle J.S., Zaghloul M.E., IEEE sensors journal . 2002,第6期

机译：基于单片CMOS微孔板的气体传感器系统
4. Smart single-chip CMOS microhotplate array for metal-oxide-based gas sensors [C] . Graf, M., Barrettino, . 2003

机译：用于基于金属氧化物的气体传感器的智能单芯片CMOS微孔板阵列
5. Monolithic CMOS microhotplate-based gas-sensor system. [D] . Afridi, Muhammad Yaqub. 2002

机译：基于单片CMOS微孔板的气体传感器系统。
6. Microhotplates for Metal Oxide Semiconductor Gas Sensor Applications—Towards the CMOS-MEMS Monolithic Approach [O] . Haotian Liu, Li Zhang, King Ho Holden Li, 2018

机译：用于金属氧化物半导体气体传感器的微孔板—迈向CMOS-MEMS单片方法
7. A 3D FEM Model for Heat Transfer Mechanisms in Membrane Based Thermal Conductivity Sensors Developed Using SOI CMOS MEMS Technology [O] . Sarfraz Sohab, Kumar R. Vasant, Udrea Florin, 2014

机译：利用SOI CMOS MEMS技术开发的基于膜的热导率传感器传热机理的3D有限元模型

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