机译:含正压渗透性单晶硅和电化学刻绘的航空声音的低压声传感器
Acoustic sensors; Pressure sensors; Microphones; Piezoresistive effect; Electrochemical etch-stop; Silicon; Microphone;
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机译:硅压阻式圆形膜片传感器的低压测量极限
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