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机译:双离子束溅射Nb2O5和SiO2薄膜中的应力松弛:在具有3D纳米压印腔的Fabry-Perot滤光片阵列中的应用
residual stress; niobium pentoxide; silicon dioxide; sputter deposition; spectroscopy; Fabry-Perot filter;
机译:双离子束溅射Nb2O5和SiO2薄膜中的应力松弛:在具有3D纳米压印腔的Fabry-Perot滤光片阵列中的应用
机译:射频离子束溅射制备Ta_(2)O_(5)-SiO_(2)复合薄膜波纹滤膜中的残余应力
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机译:微系统应用溅射PZT薄膜的应力和应力松弛研究
机译:机械应力对光学多层介电薄膜多腔Fabry-Perot干涉膜的影响。
机译:不同沉积参数下溅射法制备Nb2O5减反射薄膜的研究
机译:基于Fabry–Pérot滤镜阵列的纳米光谱仪中3D纳米压印腔阵列的高度均匀的残留层