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机译:通过纳米压印光刻中的热膨胀研究图案放置错误
Nanoimprint lithography; Thermal expansion; Pattern placement error; Electron beam lithography;
机译:通过纳米压印光刻中的热膨胀研究图案放置错误
机译:使用可热固化的纳米压印光刻技术在透明导电氧化物层上制备纳米孔阵列图案
机译:使用可热固化的单体型纳米压印光刻技术在GaN基发光二极管上制造二维光子晶体图案
机译:用于热纳米压印光刻的低粘度热固化环氧系统中制造的高密度图案
机译:在极紫外光刻中光罩非平坦性引起的图像放置误差的研究。
机译:阳极氧化铝图案和纳米压印光刻技术从GaN基绿色发光二极管中提取光的研究
机译:通过紫外线印刷光刻制造的抗蚀剂图案的紫外线曝光图案尺寸修剪