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机译:亲水键合的硅晶片界面的位错结构,电学和发光性能
Cathodoluminescence; Dislocation network; Dislocation-related luminescence; Silicon wafer bonding;
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机译:晶圆键合化合物半导体的界面形态,化学和位错结构
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机译:直接硅键合晶圆界面的电均匀性