机译:使用Ar / O_2等离子体蚀刻制备金刚石晶须
Diamond film; Al coating; Etching; Whiskers; RF plasma;
机译:使用Ar / O_2等离子体蚀刻制备金刚石晶须
机译:在Ar / c-C_4F_8,O_2 / c-C_4F_8和Ar / O_2 / c-C_4F_8等离子体中蚀刻多孔和固体SiO_2
机译:射频Ar / O_2等离子体刻蚀铝涂层金刚石薄膜形成纳米晶须
机译:电感耦合等离子体反应离子刻蚀系统中基于SF_6 / C_4F_8 / Ar / O_2的化学物质对石英的高速各向异性刻蚀
机译:硅/硅锗化物异质结构的各向异性碳氟化合物等离子体刻蚀和等离子体刻蚀引起的侧壁损伤
机译:使用Ar +等离子体蚀刻将结构蛋白定位于1型单纯疱疹病毒的衣壳中。
机译:在加氢的碳氟化合物(CF 4 ∕ Ar ∕ H 2和C 4 F 8 ∕ Ar ∕ H 2)等离子体中的Si上选择性刻蚀高kk HfO 2膜