的表面,其中所述表面无损伤至一定程度,如果对其施加各向异性热显露蚀刻,则数密度各向异性热揭示蚀刻所揭示的缺陷的数量少于每mm 2 Sup> 100。
公开/公告号US10011491B2
专利类型
公开/公告日2018-07-03
原文格式PDF
申请/专利号US201514685553
申请日2015-04-13
分类号C23C16/27;C01B31/06;C30B25/10;C30B25/20;C30B29/04;G01N27/30;H01L21/02;H01L21/04;H01L29/04;H01L29/16;H01L29/167;H01L29/36;G01N21/87;G01N21/95;H01J37/32;C01B32/28;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:05:03