...
机译:ZrBxOy超薄薄膜作为铜互连中的扩散阻挡层
Ultrathin ZrBxOy films; Diffusion barrier; Cu interconnect;
机译:ZrBxOy超薄薄膜作为铜互连中的扩散阻挡层
机译:原子层沉积的超薄HfO_2和A1_2O_3薄膜作为铜互连中的扩散阻挡层
机译:添加剂对直接在无氯电解质中的Ti扩散阻挡层上电沉积的Cu薄膜的影响
机译:超薄TaN和三元Ta_(1-x)Al_xN_y膜的原子层沉积,用于高级互连中的Cu扩散阻挡层应用
机译:在Cu / SiLK(TM)金属化方案中,集成非晶钽氮化硅(TaSiN)薄膜作为扩散阻挡层。
机译:用于Cu / Si Connect系统的Alcrtatizr / AlcrtatizR-N高熵合金薄膜的扩散阻挡性能
机译:Cu互连的Cu沉积Ni-B扩散屏障Cu扩散的相变