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刘春海; 王龙; 崔学军; 金永中; 叶松;
四川理工学院材料与化学工程学院;
材料腐蚀与防护四川省重点实验室;
巢湖学院电子工程与电气自动化学院;
磁控溅射; MoN; 扩散阻挡层; 热稳定性;
机译:超薄Mo / MoN双层纳米结构,用于先进的铜金属化的扩散阻挡层应用
机译:偏压温度应力下化学扩散阻挡层和有机硅烷单层对铜扩散的阻挡层完整性
机译:AlxNiy合金作为柔性薄膜太阳能电池中的扩散阻挡层的研究%AlxNiy合金作为柔性薄膜太阳能电池中的扩散阻挡层的研究
机译:与BEOL兼容的2D分层材料可作为用于铜互连技术的超薄扩散阻挡层
机译:用于下一代集成电路的超薄纳米复合材料扩散阻挡层。
机译:高效GeNi合金接触扩散阻挡层用于BiSbTe长期热暴露
机译:在低k(k = 2.5)电介质上研究超薄al 2 O 3薄膜作为Cu扩散阻挡层
机译:基于钽的铜金属化扩散阻挡层。
机译:电化学装置中的阻挡层,包括阻挡层,膜电极组件,催化剂涂层膜,气体扩散电极,碳基气体扩散层和阻挡层的电化学装置,膜电极组件,催化剂涂层或气体扩散层
机译:银扩散阻挡层材料,银扩散阻挡层,银扩散阻挡层涂层
机译:银扩散阻挡层材料,银扩散阻挡层和银扩散阻挡层涂层
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