机译:使用VUV激光(157 nm)从氯甲烷中光诱导化学气相沉积非晶碳膜
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机译:热丝化学气相沉积沉积氢化非晶碳氮化硅(a-sicn:h)膜的结构和电子环境的研究
机译:低温催化化学气相沉积(<150℃)和激光晶化的非晶硅膜沉积在多晶硅薄膜晶体管中的应用
机译:原位等离子体分析,通过等离子体增强化学气相沉积法沉积在Si上的氟化非晶碳和氢化非晶碳薄膜的氟掺入,热稳定性,应力和硬度比较
机译:通过脉冲激光沉积和化学气相沉积合成新型材料:第一部分:氮化碳薄膜的能量沉积和稳定性。第二部分:一维材料和装置的催化生长。
机译:碳氢化合物的紫外激光光解以抑制金刚石膜化学气相沉积中的非金刚石碳
机译:通过等离子体增强化学气相沉积和等离子体浸没离子注入和沉积获得的非晶态碳质薄膜的光学,机械和表面特性
机译:通过等离子体增强化学气相沉积沉积的无定形碳膜作为平面化层。