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Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods
Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods
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1.
Overview
机译:
概述
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
2.
APPENDIX A SYNOPSIS OF THE PANEL DISCUSSIONS
机译:
附录一概述小组讨论
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
3.
METALLIC CONTAMINATION FROM WAFER HANDLING
机译:
晶圆处理的金属污染
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
microcontamination;
metallic contamination;
iron contamination;
particle contamination;
surface photovoltage;
wafer handling;
4.
APPLICATION AND COMPARISON OF SPV AND μPCD FOR IRON MEASUREMENT IN SILICON WAFER MANUFACTURING
机译:
SPV和μPCD在硅晶片制造中进行铁测量的应用及比较
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
minority carrier lifetime;
diffusion length;
μ-PCD;
SPV;
iron in silicon;
5.
LIFETIME MEASURED BY LOW INJECTION LEVEL μ-PCD TECHNIQUE
机译:
通过低注射水平μ-PCD技术测量的寿命
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
microwave photoconductive decay;
Corona charge;
recombination lifetime;
surface passivation;
silicon;
Fe-B;
6.
Recombination Lifetime Variations and Defect Introduction by Rapid Thermal Processing
机译:
通过快速热处理重组寿命变化和缺陷介绍
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
laser microwave photoconductance decay;
LM-PCD;
X-ray topography;
XRT;
Rapid Thermal Processing;
RTP;
low lifetime spots;
slip dislocations;
decontamination monitoring;
7.
NON-CONTACT MEASUREMENTS OF THE MINORITY CARRIER RECOMBINATION LIFETIME AT THE SILICON SURFACE
机译:
在硅表面上的少数载波重组寿命的非接触式测量
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
carrier lifetime measurement;
recombination;
surface measurement;
silicon;
charge profiler;
8.
INFLUENCE OF IRON AND COPPER ON MINORITY CARRIER RECOMBINATION LIFETIME IN SILICON
机译:
铁和铜对硅中少数型载体重组寿命的影响
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
carrier lifetime;
recombination;
silicon;
μ-PCD;
iron;
copper;
9.
The Optical Excitation Effect in Transition Metal Doped CZ Silicon Wafers Revealed by the Microwave Photoconductive Decay Lifetime Measurement
机译:
过渡金属掺杂CZ硅晶片中的光学激发效果透露了微波光电导衰减衰减寿命测量
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
light illumination;
recombination lifetime;
injection level;
Fe-B;
10.
APPLICATION OF RECOMBINATION LIFETIME MEASUREMENTS IN SILICON WAFER MANUFACTURING
机译:
复合寿命测量在硅晶片制造中的应用
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
silicon;
recombination lifetime;
transition metals;
crystal growth;
thermal processing;
wafer cleaning;
11.
EFFECTS OF SAMPLE INHOMOGENEITY AND GEOMETRY ON PHOTOCONDUCTIVITY DECAY
机译:
样品不均匀性和几何形状对光电导性衰减的影响
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
excess carrier recombination;
numeric simulation;
finite element method;
inhomogeneity effect;
geometry effect;
photoconductivity decay;
multicrystals;
wafers;
12.
RESULTS OF THE LIFETIME ROUND ROBINS DONE IN THE FRAMEWORK OF THE SEMI M6 SOLAR SILICON STANDARDIZATION TASK FORCE
机译:
SEMI M6太阳能硅标准化工作组框架中完成了寿命循环的结果
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
SEMI M6;
standardization;
solar silicon;
lifetime;
diffusion length;
round robin;
surface passivation;
measurement conditions;
13.
PROBLEMS AND POSSIBILITIES OF COMPARING DIFFERENT LIFETIME MEASURING INSTRUMENTS AND TECHNIQUES
机译:
比较不同寿命测量仪器和技术的问题及可能性
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
carrier lifetime;
SPV;
μ-PCD;
injection level;
surface recombination;
surface passivation;
14.
NEW DEVELOPMENTS OF THE ELYMAT TECHNIQUE
机译:
ELYMAT技术的新发展
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
minority carrier recombination lifetime;
injection level;
ELYMAT tech-nique;
metal contamination;
oxygen precipitates;
surface recombination;
metal silicide;
15.
INFLUENCE OF METAL IMPURITIES ON LIFETIME
机译:
金属杂质对寿命的影响
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
recombination lifetime;
generation lifetime;
micro wave photoconductive;
16.
OPTIMIZATION AND CONTROL OF ELYMAT LIFETIME MEASUREMENT FOR USE IN A MANUFACTURING SETTING
机译:
用于制造设置的Elymat寿命测量的优化和控制
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
Elymat;
minority carrier lifetime;
measurement control;
17.
SILICON LIFETIME DEGRADATION AS A FUNCTION OF WET CHEMICAL CLEANS AND CHEMICAL PURITY
机译:
硅寿命劣化作为湿化学清洁和化学纯度的函数
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
silicon lifetime;
ELYMAT;
wet chemical process cleaning;
process chemical purity;
18.
CONTACTLESS FREQUENCY RESOLVED PHOTOCONDUCTANCE (FR-PC) MEASUREMENT OF IRON CONTAMINATED P-TYPE SILICON
机译:
无接触式频率分辨的光电导(FR-PC)铁污染P型硅的测量
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
laser microwave photoconductance decay;
μ-PCD;
FR-PC;
electron/hole lifetime;
surface recombination velocity;
recombination centers;
trapping centers;
19.
MONITORING OF SURFACE MINORITY CARRIER LIFETIME USING MODULATED PHOTOCURRENT
机译:
使用调制光电流监测表面少数型载体寿命
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
carrier lifetime;
recombination;
photovoltage;
contamination;
in-line measurements;
process control;
20.
CARRIER LIFETIME MEASUREMENTS BY MICROWAVE PHOTO-CONDUCTIVITY DECAY METHOD
机译:
通过微波光导衰减方法进行载体寿命测量
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
recombination lifetime;
photo-conductivity decay;
μ PCD;
iron;
molybdenum;
interface trap density;
silicon;
epitaxial;
21.
Minority Carrier Diffusion Length Degradation in Silicon:Who is the Culprit?
机译:
硅的少数竞赛载波扩散长度降解:谁是罪魁祸首?
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
silicon;
copper;
iron;
photovoltaics;
microdefects;
SPV;
22.
RECOMBINATION LIFETIMES IN SILICON
机译:
硅中的重组寿命
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
silicon;
recombination lifetime;
minority carrier diffusion length;
bulk lifetime;
surface recombination;
surface recombination velocity;
iron;
23.
OXYGEN PRECIPITATION CHARACTERIZATION USING THE ELYMAT TECHNIQUE
机译:
利用ELYMAT技术的氧沉淀特性
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
ELYMAT technique;
oxygen precipitation;
denuded zone;
diffusion length;
injection level;
24.
COMPARATIVE ANALYSIS OF PHOTOCONDUCTANCE DECAY AND SURFACE PHOTO VOLTAGE TECHNIQUES: THEORETICAL PERSPECTIVE AND EXPERIMENTAL EVIDENCE
机译:
光电导衰减与表面光电技术的比较分析:理论透视与实验证据
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
photoconductance decay;
surface photovoltage;
recombination lifetime;
surface recombination velocity;
bulk iron contamination;
25.
NON-CONTACT SILICON EPILAYER AND SUBSURFACE CHARACTERIZATION WITH UV/MM WAVE TECHNIQUE
机译:
用UV / mm波技术进行非接触式硅脱晶和地下表征
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
silicon epitaxial wafer;
carrier lifetime;
surface recombination velocity;
subsurface damage;
GOI;
mirror polishing;
CMP;
PCD;
millimeter wave;
26.
ASPECTS OF SILICON CONTAMINATION CONTROL BY LIFETIME
机译:
终身硅污染控制的方面
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
minority carrier diffusion length;
injection level;
charge carrier trapping;
photoconductive decay;
surface photovoltage;
Elymat;
Fe impurities;
oxygen precipitates;
27.
THE APPLICATION OF MINORITY CARRIER LIFETIME TECHNIQUES IN MODERN CZ SILICON
机译:
少数民族载体寿命技术在现代CZ硅中的应用
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
minority carrier recombination lifetime;
czochralski silicon;
transition metals;
oxygen precipitation;
point defects;
28.
MEASUREMENT OF MINORITY CARRIER RECOMBINATION LIFETIME IN SILICON WAFERS BY MEASUREMENT OF PHOTOCONDUCTIVITY DECAY BY MICROWAVE REFLECTANCE :RESULT OF ROUND ROBIN TEST
机译:
通过微波反射测量光电导衰减测量硅晶片中的少数型载体重组寿命:循环试验结果
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
microwave photoconductive decay method;
round robin test;
recombination lifetime;
primary mode lifetime;
1/e lifetime;
29.
SPATIAL NONUNIFORMITIES IN THE MINORITY-CARRIER DIFFUSION LENGTH/LIFETIME: MEASUREMENT AND IMPLICATIONS ON A LARGE-AREA DEVICE PERFORMANCE
机译:
少数载波扩散长度/寿命中的空间不均匀性:对大面积设备性能的测量和影响
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
minority carrier lifetime;
diffusion length;
photovoltaic silicon;
surface recombination velocity;
30.
PRESENT STATUS OF THE SURFACE PHOTO VOLTAGE METHOD (SPV) FOR MEASURING MINORITY CARRIER DIFFUSION LENGTH AND RELATED PARAMETERS
机译:
用于测量少数载波扩散长度和相关参数的表面光电压法(SPV)的现状
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
surface photovoltage;
minority carrier diffusion length;
iron contamination;
recombination lifetime;
31.
CHARACTERISTICS AND EVALUATION METHODS OF CARRIER RECOMBINATION LIFETIMES IN HIGH-QUALITY SILICON WAFERS
机译:
高品质硅晶片中载体重组寿命的特性和评价方法
会议名称:
《Advanced workshop on silicon recombination lifetime characterization methods》
|
1998年
关键词:
bulk lifetime;
photoconductive decay;
lifetime shift;
chemical passivation;
surface recombination velocities;
epitaxial layers;
p/p~+;
photoluminescence;
gettering;
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