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Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA
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1.
Fabrication of large area X-ray masks for UDXRL on beryllium using thin film UV lithography and X-ray backside exposure
机译:
使用薄膜紫外光刻和X射线背面曝光在铍上制造用于UDXRL的大面积X射线掩模
作者:
Josef Kouba
;
Zhong-Geng Ling
;
Lin Wang
;
Yohannes M. Desta
;
Jost Goettert
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
X-ray mask;
ultra deep X-ray lithography;
LIGA;
SU-8;
high aspect ratio;
2.
Advanced Pressure Control in Time Division Multiplexed (TDM) Plasma Etch Processes
机译:
时分多路(TDM)等离子蚀刻工艺中的高级压力控制
作者:
Shouliang Lai
;
Russ Westerman
;
Dave Johnson
;
John Nolan
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
MEMS;
deep Si etching;
pressure control;
process stability;
manufacturability;
3.
3D photolithography based on image reversal
机译:
基于图像反转的3D光刻
作者:
Peng Yao
;
Garrett Schneider
;
Binglin Miao
;
Janusz Murakowski
;
Dennis Prather
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
three-dimensional lithography;
image reversal;
photonic crystals;
MEMS;
4.
Effect of deposition parameters on the stress gradient of CVD and PECVD poly-SiGe for MEMS applications
机译:
沉积参数对MEMS应用中CVD和PECVD多晶硅的应力梯度的影响
作者:
T. Van der Donck
;
J. Proost
;
C. Rusu
;
K. Baert
;
C. Van Hoof
;
J.-P. Cells
;
A. Witvrouw
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
poly-SiGe;
stress gradient;
CVD;
PECVD;
stress profile;
5.
Improved Vapor-phase Deposition Technique for Anti-stiction Monolayers
机译:
抗粘连单层的改进气相沉积技术
作者:
Robert Ashurst
;
Carlo Carraro
;
J.D. Chinn
;
Victor Fuentes
;
Boris Kobrin
;
Roya Maboudian
;
Romuald Nowak
;
Richard Yi
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
MEMS;
thin films;
vapor deposition;
self-assembled monolayers (SAM);
stiction;
6.
Industrial packaging and assembly infrastructure for MOEMS
机译:
MOEMS的工业包装和组装基础设施
作者:
Henne van Heeren
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
7.
Original technology applied for manufacturing a cantilever-type piezo-resistive micro-accelerometer
机译:
应用于制造悬臂式压阻式微加速度计的原始技术
作者:
N. Dumbravescu
;
A. Enescu
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
Si bulk micro-machining;
high sensitivity;
cantilever-type;
piezo-resistors;
micro-accelerometer;
8.
Novel process for realization of multiple axis actuators suitable for the realization of an optical switch
机译:
用于实现适用于光开关的多轴致动器的新颖过程
作者:
Marco Del Sarto
;
Simone Sassolini
;
Mauro Marchi
;
Lorenzo Baldo
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
MEMS;
actuator;
optical switch;
dual axis;
electrostatic;
silicon process;
RIE;
wafer bonding;
FEM;
9.
Phase Transition vs. Thickness in Stress-Induced Curvature on Cr/Au MEMS Mirror Layers
机译:
Cr / Au MEMS镜面层上应力引起的曲率中的相变与厚度的关系
作者:
A. Ilic
;
K.W. Goossen
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
thin-film;
stress;
mirror;
10.
Process design environment for microfabrication technologies
机译:
微细加工技术的工艺设计环境
作者:
Andreas Wagener
;
Jens Popp
;
Kai Hahn
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
process design;
design methodologies;
TCAD;
11.
Wall Shear Stress and Pressure Sensors Development for Active Control of Flow
机译:
主动控制流量的壁剪应力和压力传感器开发
作者:
Dimitrios M. Tsamados
;
Delphine Meunier
;
Mourad Laghrouche
;
Jumana Boussey
;
Sedat Tardu
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
MEMS;
SOI;
pressure sensors;
wall shear stress sensors;
12.
Three-Dimensional Micro-Fabrication using Two-Photon Absorption by Femtosecond Laser
机译:
飞秒激光利用双光子吸收进行三维微细加工
作者:
Shin Wook Yi
;
Seong Ku Lee
;
Hong Jin Kong
;
Ran Hee Kim
;
Kwang-Sup Lee
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
two-photon absorption;
femotosecond laser;
microfabrication;
stereo lithography;
PDMS;
13.
Simulations and Experiments on the Fabrication of Silicon Tip
机译:
硅烙铁头制作的仿真与实验
作者:
Wang Mingliang
;
Sun Daoheng
;
Wang Yanhua
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
silicon tip;
anisotropic dry etching;
anisotropic wet etching;
bonding;
14.
Fabrication of an Electrochemical Tip-Probe System Embedded in SiNx-Cantilevers for Simultaneous SECM and AFM Analysis
机译:
嵌入SiNx悬臂的电化学尖端探针系统的制造,用于同时进行SECM和AFM分析
作者:
R. J. Fasching
;
Y. Tao
;
F. B. Prinz
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
SECM;
AFM;
FIB;
nano electrodes;
tip probe array;
15.
Wafer-Level Vacuum Packaging Technology Based on Selective Electroplating
机译:
基于选择性电镀的晶圆级真空包装技术
作者:
P. Topart
;
S. Leclair
;
C. Alain
;
H. Jerominek
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
wafer-level vacuum packaging;
MEMS;
electroplating;
infrared microbolometers;
16.
Silicon Carbide Micro- and Nanoelectromechanical Systems
机译:
碳化硅微机械和纳米机电系统
作者:
Mehran Mehregany
;
Christian A. Zorman
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
silicon carbide;
MEMS;
NEMS;
epitaxial growth;
low pressure chemical vapor deposition;
surface micromachining;
bulk micromachining;
17.
Electronic properties of multi-phase systems with varying configuration of inclusions
机译:
具有不同夹杂物构型的多相系统的电子性质
作者:
Vladimir V. Shchennikov
;
Sergey V. Ovsyannikov
;
Grigoriy V. Vorontsov
;
Vsevolod V. Shchennikov Jr
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
heterostructures;
multi-component heterosystems;
variable geometrical configuration;
diamond probes;
thermoelectric power;
semiconductor micro-devices;
quality control;
high pressures;
nernst-ettingshausen effects;
18.
Polymeric Protective Coatings for MEMS Wet-Etch Processes
机译:
MEMS湿法蚀刻工艺的聚合物保护涂层
作者:
Kim Ruben
;
Tony Flaim
;
Chenghong Li
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
deep silicon etching;
potassium hydroxide etchant;
hydrofluoric acid;
mixed acid etchants;
bulk micromachining;
19.
RF MEMS Technologies Fabricated Using Low Temperature Processing
机译:
使用低温工艺制造的RF MEMS技术
作者:
Christopher W. Dyck
;
Christopher D. Nordquist
;
Garth Kraus
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
RF MEMS;
switch;
surface micromachining;
microwave;
20.
Realization of vertical P~+ wall through-wafer
机译:
垂直P〜+穿墙晶片的实现
作者:
J-L. Sanchez
;
E. Scheid
;
P. Austin
;
M. Breil
;
H. Carriere
;
P. Dubreuil
;
E. Imbernon
;
F. Rossel
;
B. Rousset
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
deep RIE of silicon;
P~+ wall;
bi-directional power devices;
electrical via;
21.
Fabrication of integrated inductors on silicon for fully integrated DC-DC microconverters
机译:
在硅上制造集成电感器,用于完全集成的DC-DC微转换器
作者:
Gh. Troussier
;
J.P. Laur
;
J.L. Sanchez
;
D. Bourrier
;
V. Conedera
;
M. Dilhan
;
N. Fabre
;
Y. Lembeye
;
H. Morel
;
B. Cogitore
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
micro-inductor;
spiral-type;
DC-DC converter;
electroplating;
thick photoresist;
SU-8;
copper;
NiFe;
22.
High performance thick copper inductors in an RF technology
机译:
射频技术中的高性能厚铜电感器
作者:
Kunal Vaed
;
William Graham
;
Michelle Steen
;
Jae-Eun Park
;
Robert Grpves
;
Richard Volant
;
Ronald Nunes
;
James Vichiconti
;
Kenneth Stein
;
David Ahlgren
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
inductor;
copper;
micromachining;
DRIB;
Q factor;
substrate;
RF;
passive circuits;
spiral;
23.
BCB wafer bonding for microfluidics
机译:
BCB晶圆键合微流控
作者:
Taejoo Hwang
;
Dan Popa
;
Jeongsik Sin
;
Harry E. Stephanou
;
Eric M. Leonard
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
BCB bonding;
DRIE;
photo-etchable glass;
MEMS packaging;
microchannel;
bulk micromachining;
wafer bonding;
microfluidics;
24.
Analysis of a Process for Replication of Electroforming Molds with Integral Microscreens
机译:
用整体式微筛复制电铸模的过程分析
作者:
R. Pitchumani
;
Q. Jiang
;
A.M. Morales
;
L.A. Domeier
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
LIGA;
microfabrication;
injection molding;
fluid flow analysis;
heat transfer;
PMMA;
replication;
microdevices;
25.
Comparison of Micro Chrome Patterns in Gray Scale Lithography
机译:
灰度平版印刷中微铬图案的比较
作者:
Kei Hanai
;
Yoshinori Matsumoto
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
gray scale;
lithography;
image processing;
chrome mask;
random dither;
half-tone;
26.
Bi/In Thermal Resist For Both Si Anisotropic Wet Etching And Si / SiO_2 Plasma Etching
机译:
Si /各向异性湿法刻蚀和Si / SiO_2等离子刻蚀均具有Bi / In热阻
作者:
Glenn Chapman
;
Yuqiang Tu
;
Jun Peng
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
inorganic photoresist;
thermal resist;
anisotropic etch;
plasma etch;
etch mask;
27.
Deep wet etching on fused silica material for fiber optic sensors
机译:
在用于光纤传感器的熔融石英材料上进行深湿蚀刻
作者:
Xiaopei Chen
;
Bing Yu
;
Yizheng Zhu
;
Anbo Wang
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
deep wet etching;
fused silica;
optical fibers;
fiber optic sensors;
28.
Characterization of the Microloading Effect in Deep Reactive Ion Etching of Silicon
机译:
硅深反应离子刻蚀中微负载效应的表征
作者:
Soren Jensen
;
Ole Hansen
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
DRIE;
microloading;
depletion radius;
29.
Direct-write waveguides and structural modification by femtosecond laser pulses
机译:
飞秒激光脉冲的直接写入波导和结构修改
作者:
Pin Yang
;
George R. Burns
;
Dave R. Tallant
;
Jungpeng Guo
;
Ting Shan Luk
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
femtosecond;
raman spectra;
waveguides;
birefringence;
30.
Deep Reactive Ion Etch Conditioning Recipe
机译:
深度反应离子蚀刻调理配方
作者:
Matthew Wasilik
;
Ning Chen
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX; Jan 27-29, 2004; San Jose, California, USA》
|
2004年
关键词:
deep reactive ion etch;
DRIE;
bosch process;
conditioning recipe;
seasoning recipe;
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