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Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA
Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA
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1.
Optics and MEMS A New Opportunity for Innovation
机译:
光学和MEMS创新的新机遇
作者:
Gary Starkweather
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
2.
Nonlinear Dynamics and Control of a Dual-Capacitively Driven Torsional MEMS Scanning Mirror
机译:
双电容驱动扭转MEMS扫描镜的非线性动力学和控制
作者:
Margaret Brown
;
Gary Mansouri
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
3.
Operation of spatial light modulators in DUV light
机译:
DUV光中空间光调制器的操作
作者:
Ulrike Dauderstaedt
;
Peter Duerr
;
Mathias Krellmann
;
Tord Karlin
;
Uldis Berzinsh
;
Lars Leonardsson
;
Horst Wendrock
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
optical MEMS;
spatial light modulator;
DUV;
4.
Driver ASIC for synchronized excitation of resonant Micro-Mirrors
机译:
用于谐振微镜同步激励的驱动器ASIC
作者:
Kai-Uwe Roscher
;
Uwe Fakesch
;
Harald Schenk
;
Hubert Lakner
;
Dirk Schlebusch
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
micro scanning mirror;
MEMS;
MOEMS;
resonant scanner;
synchronized excitation;
resonant excitation;
MEMS driver;
scanner driver;
charge pump;
5.
Design and Fabrication of a Continuous Membrane Deformable Mirror
机译:
连续膜变形镜的设计与制作
作者:
Jay A. Hammer
;
Michele R. Banish
;
Michael R. Whitley
;
Zhili Hao
;
Keith O. Warren
;
Sharon Sanchez
;
John Harchanko
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
deformable mirror;
vertical comb drive;
membrane;
adaptive optics;
6.
DLP~(TM) Switched Blaze Grating; the Heart of Optical Signal Processing
机译:
DLP〜(TM)开关火焰光栅;信号处理的核心
作者:
Walter Duncan
;
Benjamin Lee
;
Paul Rancuret
;
Bryce Sawyers
;
Lynn Endsley
;
Don Powell
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
7.
Flexible micromirror linear array for high resolution projection display
机译:
柔性微镜线性阵列,用于高分辨率投影显示
作者:
Francis Picard
;
Celine Campillo
;
Timothy D. Pope
;
Keith K. Niall
;
Philipp W. Peppler
;
Carl Larouche
;
Hubert Jerominek
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
micromirror;
linear;
array;
schlieren;
optics;
high-resolution;
projection;
display;
MEMS;
MOEMS;
8.
Electrostatically actuated membrane mirrors for adaptive optics
机译:
用于自适应光学的静电驱动膜镜
作者:
Peter Kurczynski
;
Gregory R. Bogart
;
Warren Y-C. Lai
;
Victor Lifton
;
William M. Mansfield
;
J. Anthony Tyson
;
Bernard Sadoulet
;
David R. Williams
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
adaptive optics;
MEMS;
MOEMS;
optical MEMS;
micromirrors;
deformable mirrors;
9.
Improved layout for a resonant 2D Micro Scanning Mirror with low operation voltages
机译:
具有低工作电压的2D谐振微扫描镜的改进布局
作者:
Alexander Wolter
;
Harald Schenk
;
Eric Gaumont
;
Hubert Lakner
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
micro scanning mirror;
beam deflection;
bulk-micromachining;
MEMS;
MOEMS;
resonant scanner;
2-dimensional scanner;
micromechanical actuator;
comb electrode;
comb drive;
10.
Magnetic Actuation for MEMS Scanners for Retinal Scanning Displays
机译:
用于视网膜扫描显示器的MEMS扫描仪的磁驱动
作者:
Jun Yan
;
Selso Luanava
;
Vincenzo Casasanta
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
MEMS actuation;
MEMS scanner;
retinal scanning display;
11.
MEMS and MOEMS for National Security Applications
机译:
适用于国家安全应用的MEMS和MOEMS
作者:
Marion Scott
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
MOEMS;
MEMS;
microsystems;
national security;
defense;
market strategy;
commercialization roadmap;
12.
Miniature high-fidelity displays using a biaxial MEMS scanning mirror
机译:
使用双轴MEMS扫描镜的微型高保真显示器
作者:
Mark O. Freeman
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
display;
retinal scanning display;
MEMS scanning mirror;
near-eye display;
13.
Characterization of Spatial Light Modulators for Micro Lithography
机译:
用于微光刻的空间光调制器的表征
作者:
Peter Duerr
;
Ulrike Dauderstaedt
;
Detlef Kunze
;
Marine Auvert
;
Thor Bakke
;
Harald Schenk
;
Hubert Lakner
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
optical MEMS;
spatial light modulator;
DUV;
uniformity of deflection;
14.
Design and Fabrication of Microlens and Spatial Filter Array by Self-Alignment
机译:
自对准微透镜和空间滤光片阵列的设计与制作
作者:
Ren Yang
;
Kin Foong Chan
;
Zhiqiang Feng
;
Wenhui Mei
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
digital mirror device (DMD);
maskless lithography system (MLS);
MOEMS;
pattern generator;
15.
A Single Two-Axis Micromachined Tilt Mirror and Linear Array
机译:
单个两轴微加工倾斜镜和线性阵列
作者:
Michael Whitley
;
Jay Hammer
;
Zhili Hao
;
Brian Wingfield
;
Luis Nelson
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
tilt mirror;
torsion hinge;
mirror array;
scanning;
MEMS packaging;
16.
A Micromachined Deformable Mirror for Adaptive Optics
机译:
用于自适应光学的微机械变形镜
作者:
Wilfrid Schwartz
;
Claire Divoux
;
Jacques Margail
;
Laurent Jocou
;
Mien Charton
;
Eric Stadler
;
Thomas Jager
;
Fabrice Casset
;
T. Enot
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
adaptive optics;
MEMS;
MOEMS;
deformable mirror;
electrostatic actuator;
17.
System Simulation of a GLV Projection System
机译:
GLV投影系统的系统仿真
作者:
Timothy P. Kurzweg
;
Jose A. Martinez
;
Steven P. Levitan
;
Abhijit J. Davare
;
Mark Kahrs
;
Donald M. Chiarulli
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
GLV;
system-level modeling;
multi-domain simulation;
18.
Technological approaches for fabrication of elastomer based spatial light modulators
机译:
用于制造基于弹性体的空间光调制器的技术方法
作者:
S.Sakarya
;
G.Vdovin
;
P.M.Sarro
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
spatial light modulators;
SLMs;
MOEMS;
displays;
viscoelastic layers;
elastomers;
19.
NEXUS: Roadmaps Applications
机译:
NEXUS:路线图和应用
作者:
Ayman El-Fatatry
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
20.
Nodal model for continuous face sheet deformable mirrors
机译:
连续面板变形镜的节点模型
作者:
Alexandros P. Papavasiliou
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
adaptive optics;
spatial light modulators;
deformable mirrors;
nodal analysis;
21.
Off-axis variable focus and aberration control mirrors
机译:
离轴可变焦距和像差控制镜
作者:
Phillip A. Himmer
;
David L. Dickensheets
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
off-axis;
elliptical;
deformable mirror;
variable focus;
MEMS;
MOEMS;
micro-optics;
22.
MOEMS spatial light modulator development at the Center for Adaptive Optics
机译:
自适应光学中心的MOEMS空间光调制器开发
作者:
Peter Krulevitch
;
Paul Bierden
;
Thomas Bifano
;
Emily Carr
;
Clara Dimas
;
Harold Dyson
;
Michael Helmbrecht
;
Peter Kurczynski
;
Richard Muller
;
Scot Olivier
;
Yves-Alain Peter
;
Bernard Sadoulet
;
Olav Solgaard
;
E.H. Yang
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
center for adaptive optics;
spatial light modulator;
adaptive optics;
astronomy;
vision science;
23.
Emerging Digital Micromirror Device (DMD) Applications
机译:
新兴的数字微镜设备(DMD)应用
作者:
Dana Dudley
;
Walter Duncan
;
John Slaughter
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
24.
High Resolution Maskless Lithography by the Integration of Microoptics and Point Array Technique
机译:
集成微光学和点阵技术的高分辨率无掩模光刻
作者:
Kin Foong Chan
;
Zhiqiang Feng
;
Ren Yang
;
Wenhui Mei
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
exposure;
microlithography;
MEMS;
optics;
photomask;
reticle;
25.
Large-Scale Polysilicon Surface Micro-Machined Spatial Light Modulator
机译:
大型多晶硅表面微加工空间光调制器
作者:
Clara Dimas
;
Julie Perreault
;
Steven Cornelissen
;
Harold Dyson
;
Peter Krulevitch
;
Paul Bierden
;
Thomas Bifano
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
spatial light modulators;
micro mirrors;
actuator frequency response;
26.
Interferometric Modulation: MOEMS as an Enabling Technology for High-Performance Reflective Displays
机译:
干涉式调制:MOEMS作为高性能反射显示器的支持技术
作者:
Mark W. Miles
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
MOEMS;
interference;
thin films;
flat panel display;
reflective display;
27.
Improved Vision by Eye Aberration Correction using an Active-Matrix Addressed Micromirror Array
机译:
通过使用有源矩阵寻址微镜阵列的眼像差校正改善视力
作者:
Andreas Gehner
;
Michael Wildenhain
;
Wolfgang Doleschal
;
Andreas Elgner
;
Harald Schenk
;
Hubert Lakner
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
adaptive optics;
wavefront correction;
eye aberration;
vision science;
spatial light modulator;
piston-type micromirrors;
surface micromachining;
active-matrix addressing;
MOEMS;
28.
MEMS spatial light modulators with integrated electronics
机译:
集成电子器件的MEMS空间光调制器
作者:
Thomas Becker
;
Thomas Bifano
;
Hocheol Lee
;
Michele Miller
;
Paul Bierden
;
Steven Cornelissen
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
spatial light modulator;
MEMS;
micromirror;
29.
MEMS electromagnetic optical scanner for a commercial laser scanning microscope
机译:
用于商用激光扫描显微镜的MEMS电磁光学扫描仪
作者:
Hiroshi Miyajima
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
optical scanner;
laser scanning microscope;
hinge;
electromagnetic;
closed-loop control;
reliability;
30.
MEMS Raster Correction Scanner for SXGA resolution Retinal Scanning Display
机译:
用于SXGA分辨率视网膜扫描显示器的MEMS光栅校正扫描仪
作者:
Hakan Urey
;
Frank DeWitt IV
;
Peggy Lopez
;
Jason Tauscher
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
MEMS scanner;
raster scanning;
electromagnetic actuators;
copper plating;
RSD;
31.
Micromachined acoustic sensor array with diffraction-based optical interferometric detection
机译:
具有基于衍射的光学干涉检测的微机械声传感器阵列
作者:
Wook Lee
;
Neal Hall
;
F. Levent Degertekin
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
acoustic sensor;
ultrasonic imaging;
through-wafer etching;
fabry-perot etalon;
32.
Micropackaging Technologies for Integrated Microsystems: Applications to MEMS and MOEMS
机译:
集成微系统的微包装技术:应用于MEMS和MOEMS
作者:
Khalil Najafi
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
33.
Assembly and Testing of a Grating Based Electrostatic Comb-Drive Visible Micro-Spectrometer
机译:
基于光栅的静电梳状驱动可见光谱仪的组装和测试
作者:
Larry C. Heaton
;
Jeff A. Fisher
;
Michael Kranz
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
MEMS;
MOEMS;
silicon-on-insulator (SOI);
spectrometer;
actuator;
electrostatic;
micro-optics;
34.
Concept, Modeling and Fabrication Techniques for Large-Stroke Piezoelectric Unimorph Deformable Mirrors
机译:
大行程压电单压电晶片可变形镜的概念,建模和制造技术
作者:
Eui-Hyeok Yang
;
Kirill Shcheglov
;
Susan Trolier-McKinstry
会议名称:
《Conference on MOEMS Display and Imaging Systems, Jan 28-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
deformable mirror (DM);
microelectromechanical systems (MEMS);
adaptive optics (AO);
piezoelectric actuator;
unimorph membrane;
continuous mirror;
wafer-scale membrane transfer;
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