机译:优化等离子体氮化工艺以增强MOS器件中低温栅极电介质的可靠性
Department of Electrical and Electronic Engineering, The University of Hong Kong, Pokfulam Road, Hong Kong;
nitridation; plasma; N_2O; NO; low-temperature processing; high-field stress;
机译:通过N_2O或NO等离子体氮化提高MOS器件的低温栅极电介质的可靠性
机译:NO等离子体氮化提高了低温多晶硅薄膜晶体管栅极电介质的可靠性
机译:先进的高迁移率Ge通道金属氧化物半导体器件的栅堆叠技术-锗氧化物的基本方面以及等离子氮化技术在可扩展氮氧化物电介质制造中的应用
机译:NO等离子体氮化提高了低温多晶硅薄膜晶体管栅极电介质的可靠性
机译:用于金属氧化物半导体栅极介电应用的二氧化硅远程等离子体氮化研究。
机译:CF4等离子体处理HfO2栅电介质的非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管的电性能和可靠性提高
机译:亚15a栅极电介质的等离子体氮化优化