thin film transistors; plasma materials processing; nitridation; semiconductor device reliability; dielectric thin films; liquid crystal displays; flat panel displays; low-temperature techniques; nitrogen compounds; gate dielectric reliability; low-t;
机译:NO等离子体氮化提高了低温多晶硅薄膜晶体管栅极电介质的可靠性
机译:NO-等离子体对有机薄膜晶体管低温沉积栅极电介质的影响
机译:使用堆叠式等离子增强化学气相沉积SiO_2 / SiN_x栅极电介质增强多晶硅薄膜晶体管的稳定性
机译:No-等离子氮化的低温多晶硅薄膜晶体管的栅极电介质的可靠性提高
机译:了解具有高k栅极介电常数的固溶处理金属氧化物薄膜晶体管的迁移率。
机译:Sol–Gel PMMA–ZrO2杂化层作为基于ZnO的低温薄膜晶体管的栅极介电层
机译:高性能短通道双栅极低温多晶硅薄膜晶体管使用准分子激光结晶