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Automated system for the characterization of high resistivity semiconductors by the van der Pauw method

机译:用范德堡方法表征高电阻率半导体的自动化系统

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摘要

An automated system for dark conductivity and Hall measurements and photoconductivity and photo‐Hall characterization of high resistivity semiconductors is described. This system has been applied to commercially available semi‐insulating GaAs substrates.
机译:描述了用于暗电导率和霍尔测量以及高电阻率半导体的光电导和光电霍尔特性的自动化系统。该系统已应用于市售的半绝缘GaAs衬底。

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