基于范德堡法测试金属薄膜电阻率的改进

摘要

范德堡法是测试金属薄膜电阻率的有效方法之一,由于范德堡法测试金属薄膜电阻率的过程较为繁琐,本文采用金属铟为接触电极,设计可集成样品的压力装置和测试电路,能方便、准确、无损伤地表征金属薄膜的表面电阻.根据薄膜厚度和求解范德堡方程,可以高效得到金属薄膜电阻率.