机译:通过低能等离子体增强化学气相沉积法制备的高迁移率SiGe异质结构
INFM and L-NESS Dipartimento di Fisica, Politecnico di Milano, Polo Regionale di Como, Via Anzani 52, I-22100 Coma, Italy;
silicon-germanium (SiGe); virtual substrate; relaxed buffer; MODFET;
机译:低能量等离子体增强化学气相沉积法生长的热电器件的Ge / SiGe超晶格
机译:通过低能等离子体增强化学气相沉积法生长Si / SiGe
机译:通过低能等离子体增强化学气相沉积法生长的薄型弛豫SiGe虚拟衬底
机译:通过分布电子回旋谐振等离子体增强化学气相沉积在SiGe层上生长在SiGe层上生长的氮化硅膜的电性能
机译:晶格匹配的III-V / IV组半导体异质结构:金属有机化学气相沉积和远程等离子体增强化学气相沉积。
机译:CVD石墨烯上等离子增强化学气相沉积法制备的无转移反型石墨烯/硅异质结构
机译:等离子体增强化学气相沉积制备的图案化取向碳纳米管的高电流发射