机译:绝缘基板上的单晶硅对称解耦MEMS陀螺仪
Capacitive interface; Decoupled gyroscope; Dissolved wafer process; MEMS gyroscope;
机译:绝缘基板上对称且解耦的镍微陀螺仪
机译:解耦双质量MEMS陀螺仪中用于正交误差的解调相角补偿
机译:解耦双质量MEMS陀螺仪中用于正交误差的静电刚度校正
机译:绝缘基板上的单晶硅对称解耦陀螺仪
机译:绝缘基板上的碳化硅薄膜,用于稳健的MEMS应用。
机译:平面外单环解耦CMOS-MEMS陀螺仪的基于寄生不敏感开关电容感应电路的失调抵消
机译:绝缘基板上的对称和解耦镍微陀螺仪