公开/公告号EP2557205A4
专利类型
公开/公告日2015-03-25
原文格式PDF
申请/专利号EP20110766043
发明设计人 HOSHINO TAIZO;TSUGE HIROSHI;YASHIRO HIROKATSU;KATSUNO MASAKAZU;FUJIMOTO TATSUO;NAKABAYASHI MASASHI;AIGO TAKASHI;
申请日2011-04-07
分类号C30B29/36;C23C16/42;C30B25/10;C30B25/16;H01L21/02;H01L21/205;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 15:07:10