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刘梅; 周百令; 夏敦柱;
东南大学,仪器科学与工程学院,南京,210096;
硅微机械陀螺仪; 对称解耦; 结构设计; 有限元仿真;
机译:绝缘基板上的单晶硅对称解耦MEMS陀螺仪
机译:刚度-质量解耦硅盘谐振器,用于高分辨率陀螺仪,具有长的衰减时间常数(8.695 s)
机译:绝缘基板上对称且解耦的镍微陀螺仪
机译:绝缘基板上的单晶硅对称解耦陀螺仪
机译:具有对称多质量机械结构的z轴MEMS陀螺仪的设计与实现
机译:氮化铝陀螺仪的T形结构解耦设计
机译:绝缘基板上的对称和解耦镍微陀螺仪
机译:用于微空间飞行器的封装硅mEms振动陀螺仪
机译:由硅生产的微技术对称振动陀螺仪传感器
机译:具有高阶旋转对称机械结构和32个电极的硅多模圆弧振动陀螺仪
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