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机译:邻近电子光刻的全芯片仿真和模板掩模畸变校正方法
The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan;
机译:基于Monte Carlo模拟的低能电子束光刻模板掩模结构因子优化。
机译:用于电子束光刻的高对比度3D接近校正:一种用于制造悬浮掩模的使能技术,用于在超高压环境中完成器件制造
机译:邻近电子光刻的互补掩模方法
机译:大面积投影电子束光刻中通过图案修饰的模板掩模校正邻近效应
机译:亚微米电子束光刻的计算机可视化和邻近效应校正
机译:基于纳米级聚合物荫罩的模板纳米光刻技术:走向有机纳米电子学
机译:用于电子束光刻的高对比度3D接近校正:用于制造悬挂掩模的使能技术,用于在UHV环境中完成器件制造
机译:用于高分辨率离子光刻接近印刷的氮化硅模板掩模。