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机译:基于Monte Carlo模拟的低能电子束光刻模板掩模结构因子优化。
CPRC, Department of Ceramic Engineering, Hanyang University, Seoul 133-791, Korea;
LEEPL; monte carlo simulation; structure factor; electron count distribution; angular distribution;
机译:低能电子束邻近投影光刻中的分辨率限制因素:掩模,投影和抗蚀剂工艺
机译:用于低能电子束投影光刻的亚50 nm模板掩模
机译:邻近电子光刻的全芯片仿真和模板掩模畸变校正方法
机译:1X模板面罩制造及其在低能量电子束接近光刻(LEEPL)中的使用
机译:通过低能电子散射和蒙特卡洛模拟确定表面结构和成分。
机译:Neptun 10 PC医用线性加速器的蒙特卡洛模拟和电子束输出因子的计算
机译:用于电子束临床模拟的蒙特卡洛代码的优化
机译:用于高分辨率离子光刻接近印刷的氮化硅模板掩模。