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机译:蚀刻阻挡层致密化对阶梯式和快速压印光刻的影响
University of Texas at Austin, Austin, Texas 78712;
机译:步进式和快速压印光刻的选择性干法蚀刻工艺
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机译:蚀刻可定义的剥离工艺的开发,可用于阶梯式和闪光压印光刻
机译:具有成本效益的压印模板制造,用于分步和快速压印光刻。
机译:通过全晶圆和卷对卷分步闪光纳米压印光刻技术生产的塑料基板单层宽带抗反射涂层
机译:评估Imprio 100步骤和闪存压印光刻工具