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Evaluation of the Imprio 100 Step and Flash Imprint Lithography Tool

机译：评估Imprio 100步骤和闪存压印光刻工具

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2. Development and validation of functional imprint material for the step and flash imprint lithography process [J] . J. Kettle, P. Coppo, G. Lalev, Microelectronic Engineering . 2008,第5a6期

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3. Controlling imprint distortions in step-and-flash imprint lithography [J] . S. D. Schuetter, G. A. Dicks, G. F. Nellis, Journal of Vacuum Science & Technology. B, Microelectronics and Nanometer Structures . 2004,第6期

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