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机译:具有线性步进角效应的多重静电电极扭转微镜装置
Flip-chip bonding; Microelectromechanical systems (MEMS); Micromirror; Multiple electrodes; Multi-User MEMS Process (MUMPs);
机译:采用主动控制方法的具有倾斜角的静电扭转微镜
机译:间隙闭合式静电微镜中拉力杆非线性弹簧的宏观模型研究
机译:具有多个不连续非线性的扭转装置的阶跃响应:振动实验的公式化
机译:带有多个静电电极的扭转微镜的闭环模糊控制
机译:静电扭转微镜及其主动控制
机译:基于数字微镜设备(DMD)的一维纳米材料高循环扭转疲劳试验微机
机译:符合标准的带有静电驱动的扭转微镜
机译:可用于下一步熔化装置的静电除尘系统的评价