机译:在溅射蚀刻和沉积过程中由于低能离子轰击而增强了扩散
机译:低能N〜+离子辐照对粉煤灰的质量沉积,刻蚀和溅射效应
机译:低能N +离子辐照对粉煤灰的质量沉积,蚀刻和溅射效应
机译:低能氩离子轰击模型在干法刻蚀中选择性刻蚀α-石英和非晶态石英衬底的分子动力学模拟
机译:在栅极金属溅射沉积中使用低能大质量离子轰击减少等离子体诱导的栅极氧化物损伤
机译:使用低压离子轰击溅射技术沉积氧化锌薄膜。
机译:在硅的低能氩离子轰击下从波纹到刻面结构的转变:了解阴影和溅射的作用
机译:低能量离子对气流溅射工艺中Fe膜生长的影响。
机译:氙离子轰击(预印)对氮化硼低能溅射产率的初步结果;技术论文