公开/公告号US10947639B2
专利类型
公开/公告日2021-03-16
原文格式PDF
申请/专利权人 U.S.A. AS REPRESENTED BY THE ADMINISTRATOR OF THE NATIONAL AERONAUTICS AND SPACE ADMINISTRATION;
申请/专利号US201715463778
申请日2017-03-20
分类号C23C14/34;C30B23/08;C23C14/35;H01J37/32;H01J37/34;C30B29/52;H01L21/02;C23C14/06;C30B23;C30B23/06;
国家 US
入库时间 2022-08-24 17:43:16