机译:栅金属溅射沉积过程中对栅氧化物可靠性的关注:低能大质量离子轰击的影响
机译:减少层间介电层(ILD)工艺中HDP-CVD氧化物沉积过程中等离子体引起的损伤
机译:硅上过渡金属氧化物的溅射沉积:证明氧轰击对费米能级钉扎的作用
机译:在栅极 - 金属溅射沉积中使用低能量大型离子轰击降低等离子体诱导的栅极氧化物损伤
机译:使用低压离子轰击溅射技术沉积氧化锌薄膜。
机译:在硅的低能氩离子轰击下从波纹到刻面结构的转变:了解阴影和溅射的作用
机译:过渡金属氧化物对硅的溅射沉积:证明氧气轰击对费米级钉扎的作用