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机译:氟注入剂量对硼在硅中热扩散的影响
Univ Southampton, Sch Elect & Comp Sci, Southampton, Hants, England;
ION-IMPLANTATION; SI; ENERGY; CRYSTALLINE; SIMULATION; THRESHOLD; JUNCTIONS;
机译:氟注入剂量对Si {sub}(1-x)Ge {sub} x中硼瞬态增强扩散和硼热扩散的影响
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机译:低能离子注入BF_2在晶体硅中的扩散模型:氟空位对硼扩散的影响研究
机译:预先注入非晶硅中的氟注入抑制硼的扩散
机译:离子注入的硼在硅中的扩散:晶格缺陷和共注入杂质的影响。
机译:具有增强的导热性能的三维异质结构还原氧化石墨烯-六方氮化硼堆叠材料
机译:氟注入剂量对硅中硼热扩散的影响
机译:植入诱导缺陷在硅表面取向扩散中的作用