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机译:高能Si〜+注入后绝缘体层上掺硼硅的损伤和恢复
机译:高能Si +注入后砷掺杂硅的损伤和恢复
机译:通过room离子注入和化学气相沉积重掺杂硼和磷的多晶硅层制成的具有室温位错相关发光的硅LED
机译:超低能硼注入物在预非晶硅和绝缘体上硅中的向上扩散
机译:注入氧的绝缘体上硅(SOI)层中砷和硼扩散的测量和建模
机译:离子注入引起的硼掺杂硅瞬态失活和扩散过程的物理学和建模。
机译:绝缘体(SOI)衬底上的硅的磷单层掺杂(MLD)
机译:超低能硼注入物在预非晶硅和绝缘体上硅中的向上扩散
机译:植入损伤在He(sup +)和H(sup +)共同注入生产绝缘体上硅薄膜中的作用