机译:高能Si +注入后砷掺杂硅的损伤和恢复
Univ Bologna, Dept Appl Chem & MAt Sci, I-40100 Bologna, Italy;
DEACTIVATION KINETICS; DIFFUSION; REDUCTION; VACANCY; IONS;
机译:高能Si〜+注入后绝缘体层上掺硼硅的损伤和恢复
机译:高能量注入后掺杂SOI层的损伤和恢复
机译:注入低能量砷离子的硅(100)中瞬态增强扩散的注入温度依赖性
机译:AR +和Si +离子植入的CZ硅的损伤和RTA动力学,其特征在于热波调制光学反射
机译:通过砷和锑的离子注入,提高了劣质硅中少数载流子的寿命。
机译:集成低电容二极管的掺砷高电阻率硅外延层
机译:使用中型能离子散射硅掺杂砷掺杂和后量值加工的表征
机译:低能硼和砷注入硅的分子动力学模拟