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机译:共聚焦微拉曼系统研究劈裂硅浅沟槽隔离结构中的应力分布
MIRAI, Nanodevice Innovation Research Center (NIRC), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-1-1 Higashi, Tsukuba, Ibaraki 305-8562, Japan;
rnMIRAI, Nanodevice Innovation Research Center (NIRC), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-1-1 Higashi, Tsukuba, Ibaraki 305-8562, Japan;
rnMIRAI, Nanodevice Innovation Research Center (NIRC), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-1-1 Higashi, Tsukuba, Ibaraki 305-8562, Japan;
机译:偏微拉曼光谱提取和力学建模确定单侧和双侧焊盘SiN层浅沟槽绝缘子结构中的局部应力
机译:偏光共聚焦近紫外拉曼显微镜研究浅沟槽隔离的硅结构中的应力
机译:使用凹槽沟道阵列晶体管结构的动态随机存取存储器的混合浅沟槽隔离引起的机械应力的测量
机译:浅沟槽隔离CMOS结构局部机械应力的微拉曼光谱评价:与缺陷产生和二极管泄漏的相关性
机译:二氧化硅,钨和浅沟隔离化学机械平面化工艺与垫微纹理,调节圆盘型和年龄,摩擦学,流体动力学和动力学相关的新型研究
机译:调查阪崎肠杆菌对大蒜驱动的有机硫化合物的响应:使用高通量全转录组测序和共聚焦显微拉曼光谱法对致病性细菌损伤的系统研究
机译:局部隔离结构中应力分布的微拉曼研究及其与透射电子显微镜的关系
机译:使用微拉曼光谱表征GaN-on-sapphire微机电系统(mEms)结构中的应力