机译:自动识别半导体制造中的空间缺陷图案
Department of Business Administration, Ming Chuan University, 250 Chung Shan N. Road, Sec. 5, Taipei 111, Taiwan;
pattern recognition; partitioning clustering; hierarchical clustering; data mining;
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机译:利用空间相关图和动态时间扭曲自动识别半导体晶圆图中的缺陷图形
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