机译:混合Som-svm方法在半导体制造中的缺陷空间模式识别
wafer bin map; defect diagnosis; pattern classification; semiconductor manufacturing; self-organizing map; support vector machine;
机译:基于模型的聚类方法可识别半导体制造过程中产生的空间缺陷图案
机译:使用空间滤波和光谱聚类识别半导体缺陷图案
机译:自动识别半导体制造中的空间缺陷图案
机译:基于小波变换半导体制造中的晶片缺陷地图模式识别系统
机译:半导体制造中晶片图案的逐次控制。
机译:忆阻器和互补金属氧化物半导体的混合电路用于带有容差因子调整的容错空间汇集
机译:使用深卷积编码器解码器神经网络架构在半导体制造中的晶片缺陷模式的异常检测和分割
机译:全局检测方案的缺陷定位能力:使用平板中的全场振动测试数据进行空间模式识别