机译:使用二维器件仿真器的Halo注入技术研究30 nm双栅极MOSFET
Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University, Sendai-shi, 980-8577 Japan;
double-gate MOSFET; Halo implantation; subthreshold-slope (S-factor); V_(th); body potential;
机译:采用晕轮注入技术的30nm双栅极MOSFET的研究
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