机译:虚拟等离子设备模型:调查等离子处理设备中反馈控制的工具
feedback; integrated circuit yield; plasma applications; process control; programmed control; semiconductor process modelling; Ar; Cl2; N2; capacitive power; capacitively coupled discharges; control strategies; electrode voltages; fabrication pr;
机译:虚拟等离子设备模型:调查等离子处理设备中反馈控制的工具
机译:低温等离子体的混合建模,用于基础研究和设备设计
机译:切削工具的复杂等离子处理技术和设备
机译:等离子体蚀刻设备中等离子体粒子的虚拟计量
机译:对离子化金属物理气相沉积中的等离子设备和特征轮廓进行建模。
机译:宿主细胞器劫机者:弓形虫和沙眼衣原体的相似作法-共同感染模型作为研究发病机理的工具-
机译:重离子融合科学虚拟实验室2009年第2季度里程碑报告:在NDCX上使用新的感应聚束模块,扩展的FEps等离子体和改进的目标诊断和定位设备进行射束和目标实验
机译:重离子融合科学虚拟国家实验室2009年第2季里程碑报告:在NDCX上使用新的感应聚束模块,扩展FEps等离子体和改进的目标诊断和定位设备进行光束和目标实验