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机译:SiGe外延生长的控制
, GlobalFoundries, Hopewell Junction, NY, USA;
Advanced Process Control; Advanced process control; SiGe;
机译:RP-CVD控制高Ge含量的应变Ge / SiGe多层膜外延生长过程中的外延层厚度
机译:外延气液固生长SiGe纳米线的组成及生长方向控制
机译:连续外延生长技术精确控制Sige Hbt的掺杂轮廓并提高晶体质量
机译:SiGe(c)HBT外延生长的制造控制和优化
机译:Si和SiGe / Si异质结构在热壁管状低压化学气相沉积系统中的选择性外延生长。
机译:SiGe / SOI外延半导体中的正电子An灭表征缺陷
机译:硅外延SiGe上Au薄膜中SiGe量子环的生长