Development of high-frequency-type MEMS ultrasonic array sensor using P(VDF/TrFE) thin films

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• 来源
  《Electronics and communications in Japan》 |2019年第8期|48-56|共9页
• 作者

  TsunehisaTanaka; ShuichiMurakami; MayumiUno;

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• 作者单位

  Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology,Izumi,Osaka,Japan;

  Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology,Izumi,Osaka,Japan;

  Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology,Izumi,Osaka,Japan;

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• 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类
• 关键词

  diagram; MEMS; P(VDF/TrFE); resonant frequency; thin film; ultrasonic sensor;

  机译：图;MEMS;P（VD​​F / TRFE）;谐振频率;薄膜;超声波传感器;
• 入库时间 2022-08-18 04:28:37