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Enhanced electron trapping in reoxidized nitrided oxide dielectric at 77 K

机译:在77 K的重氧化氮化氧化物电介质中增强的电子俘获

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摘要

The results of experiments on the electron trapping effect in ONO devices at cryogenic temperature are presented and compared with results for SiO/sub 2/ devices. Various types of ONO devices are used in the experiment in order to determine the mechanism of enhanced electron trapping phenomena in these devices.
机译:给出了在低温下ONO器件中电子俘获效应的实验结果,并将其与SiO / sub 2 /器件的结果进行了比较。实验中使用了各种类型的ONO器件,以确定这些器件中增强的电子俘获现象的机理。

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