机译:一种用于深亚微米Si MOSFET制造的新型自对准T形栅极工艺
机译:使用深紫外光刻技术制造亚微米T形栅极HEMT
机译:基于自对准CMOS工艺的沟槽栅MOSFET的制造和表征
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机译:具有自对准选择性生长W栅极(SAW)的高性能深亚微米MOSFET结构
机译:用于MMIC器件制造的亚微米自对准栅极砷化镓镓MESFET处理技术。
机译:使用溶液加工的聚合物栅极电介质自对准顶栅金属氧化物薄膜晶体管
机译:亚微米T形栅极边缘制造使用深紫色光刻