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机译:轨道蚀刻玻璃膜在亚微米制造,光刻和纠错中的应用。
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机译:电子束光刻技术制备亚微米HEMT蘑菇形浇口结构及其特性TK7871.95。 A819 2008 f rb。
机译:聚合物表面的改性及亚微米级功能化结构的深紫外和电子束光刻制备