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机译:表面微加工CMOS MEMS湿度传感器
机译:压阻温度传感器由表面微机械加工CMOS MEMS工艺制造
机译:电容耦合结构增强的CMOS MEMS湿度传感器
机译:用于CMOS-MEMS电容式湿度传感器的间苯二酚-甲醛气凝胶
机译:具有0.8 µm CMOS阻抗传感器的表面微机械加工MEMS声传感器
机译:CMOS微机械传感器的温度控制。
机译:通过表面微加工CMOS MEMS工艺制造的压阻温度传感器
机译:表面微加工CmOs mEms湿度传感器
机译:芯片上的微机械传感器系统:mEms与CmOs的集成及其应用