机译:压阻温度传感器由表面微机械加工CMOS MEMS工艺制造
机译:通过与CMOS工艺兼容的表面微加工工艺制造的压阻式压力传感器
机译:商业DPDM CMOS工艺制造的压阻微压传感器
机译:表面微加工CMOS MEMS湿度传感器
机译:使用CMOS后处理兼容的表面微加工制造的MEMS开关和其他RF组件
机译:CMOS-MEMS压阻式加速度计和纳米牛顿力传感器的设计和微制造。
机译:通过表面微加工CMOS MEMS工艺制造的压阻温度传感器
机译:表面微加工CmOs mEms湿度传感器