microswitches; capacitors; inductors; micromachining; RF components; CMOS postprocess; surface micromachining; RF MEMS switches; RF MEMS capacitors; RF MEMS inductors; dielectric membrane;
机译:CMOS兼容的微加工技术,用于在硅衬底上制造高性能的边缘悬浮RF微波无源组件
机译:低应力CMOS兼容的碳化硅表面微加工技术-第II部分:IC上方MEMS的束谐振器
机译:与GaAs兼容的表面微加工RF MEMS开关
机译:MEMS开关和使用CMOS后处理兼容表面微机械制造的其他RF组件
机译:用于可配置RF电路的RF CMOS MEMS开关的设计和开发。
机译:通过表面微加工CMOS MEMS工艺制造的压阻温度传感器
机译:使用CMOS互连工艺制造的RF MEMS开关的O2等离子体和XEF2蒸汽蚀刻释放工艺的评价
机译:CmOs兼容,表面微加工压力传感器,用于水性超声波应用