基于三维工艺层模型的表面微加工MEMS器件掩模综合

摘要

本文针对表面微加工技术,提出了一种基于三维工艺层模型生成包括多层腐蚀在内的掩模和工艺序列的新方法。首先，分析了包括多层腐蚀的各种表面微加工步骤的几何特性及其对掩模综合的作用；在掩模综合时,先将多层腐蚀的相关信息从三维工艺层模型中提取出,然后按工艺层模型的工艺顺序基于每个层的实体和多层腐蚀相关的特定区域生成该层的掩模子集和工艺子步骤。最后，给出了实例进行分析。