机译:气体介导的电子束诱导刻蚀的动力学
FEl Company, 5350 NE Dawson Creek Drive, Hillsboro, Oregon 97214-5793, USA;
School of Physics and Advanced Materials, University of Technology Sydney, P.O. Box 123, Broadway, New South Wales 2007, Australia;
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机译:气体介导的电子束诱导刻蚀及相关材料加工技术的进展
机译:聚焦电子束诱导的氯气对硅的蚀刻:残留气体污染对蚀刻工艺的负面影响
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机译:芯片级聚焦电子束诱导刻蚀氮化硅膜的独特束流写入策略
机译:聚合物抗蚀剂的电子束感应电导率效应和电子束光刻中的电荷感应电子束偏转模拟。
机译:结合聚焦的电子束诱导的沉积和蚀刻用于致密线的图案化而不互连材料
机译:气体介导的电子束诱导蚀刻 - 从基本物理学到设备制造