一种基于水冰的电子束诱导刻蚀工艺

摘要

本发明公开了一种基于水冰的电子束诱导刻蚀工艺，包括：（1）将附着在基底上的二维材料放入扫描电子显微镜镜腔内，将基底和二维材料降至低温；（2）通入气体，气体在样品上表面形成冰膜；（3）利用电子束对选定区域的二维材料进行刻蚀，升温直到剩余冰膜被完全去除，得到带有刻蚀图案的二维材料；所述冰膜为由所述气体凝华后形成的固体薄膜；所述低温为等于或低于所述气体在对应气压下的凝华点的温度。与现有方法相比，本发明不需要化学试剂处理，通过升高温度去除冰层，避免了化学污染。整个加工过程都在电镜中进行而无需额外设备。具有良好的应用前景。