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机译:对“激光辅助MEMS设备陶瓷封装的密封和测试”的更正
机译:MEMS设备陶瓷封装的激光辅助密封和测试
机译:双模设备,用于MEMS封装质量的原位测试
机译:MEMS设备晶圆级真空封装的制造和测试
机译:通过使用石英盖和环氧聚合物密封圈来封装RF-MEMS器件
机译:设计,制造和测试用于RF MEMS器件的保形,局部晶圆级封装。
机译:猪小肠密封由不同的血管密封装置进行:前体内试验
机译:B3.2 - 一种基于多层陶瓷中介体的可靠高温MEMS器件的新型包装方法
机译:用于极端温度环境的可注射陶瓷微型碳氮化硅(siCN)微机电系统(mEms),具有扩展功能:用于纳米器件的微型封装