Micropillars Nanowires Metal-assisted electroless etching K2SiF6;
机译:基于一步法化学刻蚀的优质Au-Ag复合材料表面增强拉曼散射活性基底的制备
机译:通过胶体光刻和金属辅助化学蚀刻制造有序管状多孔硅结构:二维多孔硅结构的SERS性能
机译:使用多孔硅层蚀刻的ZnO / Si复合膜结构的薄膜体声波谐振器的制造
机译:一种改进的各向异性湿法蚀刻工艺,用于使用单个蚀刻掩模制造硅MEMS结构
机译:一种简便的无一步模板无模板的方法,用于合成非掺杂和铁掺杂的隐mel烷型氧化锰K-OMS-2的均匀空心微结构。
机译:MEMS S&A器件金属/硅复合结构的混合制造工艺
机译:一步蚀刻无模板制造硅微柱/纳米线复合结构